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ISO 14606:2000

Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials

Standard Details

L'ISO 14606:2000 donne des lignes directrices sur l'optimisation des paramètres de profilage en profondeur par pulvérisation à l'aide de matériaux mono- et multicouches de référence appropriés afin d'atteindre une résolution en profondeur optimale en fonction des paramètres de l'instrument en spectroscopie des électrons Auger, en spectroscopie de photoélectrons par rayons X et en spectrométrie de masse des ions secondaires.

L'ISO 14606:2000 n'est pas prévue pour couvrir l'utilisation de systèmes multicouches spéciaux tels que des couches dopées delta.

General Information

Status : WITHDRAWN
Standard Type: Main
Document No: ISO 14606:2000
Document Year: 2000
Pages: 15
Edition: 1

Life Cycle

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ISO 14606:2000
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